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真空爐是爐膛內的壓力能抽成低於大氣壓力的工業爐。出現於20世紀30年代前后。1927年美國製成電工材料真空退火爐。1953年真空自耗電弧爐在工業上已用於熔煉海綿鈦。50年代前后真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年美國研製成油淬真空爐。 真空爐按加熱元件分為真空電阻爐﹑真空感應爐﹑真空電弧爐﹑真空自耗電弧爐﹑電子束爐(又稱電子轟擊爐)和等離子爐等。
真空爐用電加熱﹐被加熱的工件表面不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質﹐成品針孔少﹐偏析小﹑質量好。適用於高質量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的冶煉和磁性材料﹐電工材料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。
真空爐一般由爐膛﹑電熱裝置﹑密封爐殼﹑真空系統﹑供電系統和控溫系統等組成。密封爐殼一般選用用碳鋼或不銹鋼﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位於密封爐殼內。根據爐子用途﹐爐膛內部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝﹐有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵﹑真空閥門和真空計等組成。
對真空爐進行維修后，要進行烘爐、必須對真空爐進行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣，正常不小于2MΩ。真空爐烘爐分三個階段：①水分排出期O～200℃，是真空爐保溫層中的水分和真空爐體中潮氣的排出期，必須檢查真空爐真空度，同時保溫時間較長。②真空爐體放氣量大的溫度區一般在500℃左右，因真空爐放氣量比較大，這時升溫不超過50℃/h。保溫時間一般在60分鐘以上③保溫期1200℃左右，加熱每升高100～200℃，要進行保溫一段時間，升溫過快易損壞保溫層、真空爐放氣不完全。